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石英儀器的變形

2021-07-10 03:58:11

石英坩堝變形后,在拉晶過(guò)程中隨著堝位的上升,石英坩堝變形的凸出部分將碰撞到導(dǎo)流筒,影響或無(wú)法繼續(xù)正常的拉晶。若是溶料中發(fā)生掛邊造成的石英坩堝變形,坩堝上口向內(nèi)凸出過(guò)多,當(dāng)溶完料堝位上升到正常引晶位置時(shí),已碰撞到導(dǎo)流筒,這將直接導(dǎo)致不能拉晶的嚴(yán)重后果。當(dāng)溶料中發(fā)生鼓包且鼓包較大時(shí),在拉晶過(guò)程中隨著液位的下降,鼓包會(huì)漸漸露出液面,這時(shí)已經(jīng)拉出的晶棒會(huì)碰擦鼓包,如不及時(shí)停爐會(huì)發(fā)生晶棒跌落的嚴(yán)重事故。

石英缸

可能的原因:

1.裝料方法不當(dāng)。在液位線上的料與石英坩堝的接觸呈面接觸狀態(tài),這在熔料過(guò)程中容易發(fā)生掛邊導(dǎo)致坩堝變形。坩堝上部全部裝了碎小細(xì)料,這在熔料時(shí)易發(fā)生下部已溶完,上部呈結(jié)晶狀態(tài)而造成坩堝變形。

2.熔料方法不當(dāng)。

3.溫度過(guò)高。由于硅熔點(diǎn)為1420℃,一般的熔料溫度在1550~1600℃左右,如果熔料溫度過(guò)高,在熔料過(guò)程中易發(fā)生變形。

4.溫度過(guò)低。當(dāng)熔料料溫度偏低時(shí),坩堝上部的料與堝壁接觸處易發(fā)生似熔非熔的狀態(tài),當(dāng)下部料熔完上部已掛邊的塊料將石英坩堝下拉二發(fā)生變形。

5.原料質(zhì)量參差不齊,齊所含雜質(zhì)遠(yuǎn)高于原始多晶,酸洗工藝不盡完善,這對(duì)坩堝的正常使用影響也非常大,主要表現(xiàn)在容易發(fā)生嚴(yán)重析晶。

6.石英本身存在質(zhì)量問(wèn)題。石英坩堝在生產(chǎn),清洗,包裝中受到沾污發(fā)生析晶(包括液位線以上的部分)這樣石英坩堝原有的厚度會(huì)減薄,強(qiáng)度也隨之下降,容易發(fā)生變形。


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