石英缸廠家介紹石英坩堝本身是非晶質(zhì)的介態(tài)能,在適當(dāng)?shù)臈l件下他會發(fā)生相變化而形成穩(wěn)定的方石英結(jié)晶態(tài)。方石英結(jié)晶態(tài)的形成包括成核與成長二個階段,成核通常發(fā)生在石英坩堝壁上的結(jié)構(gòu)缺陷或雜質(zhì)(特別是一些堿性金屬或重金屬)。初期的方石英結(jié)晶為球狀,進(jìn)一步的成長則是沿著坩堝壁成樹枝狀往側(cè)向發(fā)展,這是因為石英坩堝與溶液的反應(yīng)時的垂直方向的成長受到抑制之故。在方石英結(jié)晶與非晶質(zhì)石英坩堝壁之間通常夾雜著一層硅溶液,而在方石英結(jié)晶的邊緣,通常覆蓋著棕色的sio氣泡。Sio氣體為棕色,棕色的小圈是sio的結(jié)晶。根本原因在于坩堝壁上的雜質(zhì)或者硅料清洗不干凈所帶來的酸堿或重金屬殘留,使坩堝在高溫下不穩(wěn)定,造成上訴現(xiàn)象。
解決方法:
1.硅料的清洗需要保證無酸堿殘留或重金屬
2.坩堝本身的質(zhì)量過關(guān)
3.改進(jìn)工藝,使用涂層或噴涂坩堝。
石英坩堝在高溫下具有趨向變成二氧化硅的晶體(方石英)。這個過程稱為再結(jié)晶,也稱為“失透”,通常也稱為“析晶”。
析晶通常發(fā)生在石英坩堝的表層,按照中國石英玻璃行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,半導(dǎo)體工業(yè)用石英玻璃在1400℃±5℃下保溫6小時,其析晶層的平均厚度應(yīng)為<100μm ,在100μm之內(nèi)的析晶是屬于正常的。嚴(yán)重的析晶對拉單晶的影響很大,石英坩堝內(nèi)壁發(fā)生析晶時有可能破換坩堝內(nèi)壁原有的涂層,這將導(dǎo)致涂層下面的氣泡層和熔硅發(fā)生反應(yīng),造成部分顆粒狀氧化硅進(jìn)入熔硅內(nèi),使得正在生長中的晶體結(jié)構(gòu)發(fā)生變異而無法正常長晶。析晶將減薄石英坩堝原有的厚度,降低了坩堝的強(qiáng)度容易引起石英坩堝的變形。
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